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少子壽命測量儀系統(tǒng)是晶圓壽命測量儀器
少子壽命測試儀單點少子壽命測量儀特點 無接觸和非破壞的電學(xué)參數(shù)測試 對外延工藝監(jiān)控和不可見缺陷檢測，具有可視化測試的最高分辨率 對于不同級別晶圓片，提供不同的菜單選項
發(fā)布時間：
2024-12-16
來源：
少子壽命測試儀
少子壽命測試儀單點少子壽命測量儀特點
無接觸和非破壞的電學(xué)參數(shù)測試
對外延工藝監(jiān)控和不可見缺陷檢測，具有可視化測試的最高分辨率
對于不同級別晶圓片，提供不同的菜單選項
單點少子壽命測量儀優(yōu)勢
用于不同制備階段，從成體到最終器件，多晶硅或單晶硅單點測量載流子壽命的臺式裝置。
體積小，成本低，使用方便。擁有一個基本的軟件，結(jié)果可視化。
適用于晶圓片到晶錠，易于高度調(diào)整。
少子壽命測試儀
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